從有關(guān)部門的試驗及研究結(jié)果可知，SF6氣體的毒性主要來自5個方面。 （1）SF6產(chǎn)品不純，出廠時含高毒性的低氟化硫、氟化氫等有毒氣體。大家知道，目前 化工行業(yè)制造SF6氣體的方法主要是采用單質(zhì)硫磺與過量氣態(tài)氟直接化合反應而成；即S+3F2→SF6+Q（放出熱量）。在合成的粗品中含有多種雜質(zhì)，其雜質(zhì)的組成和含量因原材料的純度、生產(chǎn)設(shè)備的材質(zhì)、工藝條件等因素的影響而有很大差異，雜質(zhì)總含量可達5%。其組成有硫氟化合物，如：S2F2、SF2、SF4、S2F1O等；硫氟氧化合物如SOF2、SO2F2、SOF4、S2F10O等以及原料中帶入的雜質(zhì)如HF、OF2、CF4、N2、O2等。為了凈化粗品中的雜質(zhì)，合成后的SF6氣體還需要經(jīng)過水洗、堿洗、熱解（去除劇毒的十氟化物）、干燥、吸附、冷凍、蒸餾提純等一系列凈化處理過程才能得到純度在99.8%以上的產(chǎn)品。然后再用壓縮機加壓，充入降溫至-80℃左右的鋼瓶中，以液態(tài)形式存在。在使用時減壓放出，呈氣態(tài)沖入電氣設(shè)備中。 除在上面的合成過程中產(chǎn)生的雜質(zhì)外，另外，在氣體的充裝過程中還可能混入少量的空氣、水分、和礦物油等雜質(zhì)，這些雜質(zhì)均帶有或會產(chǎn)生一定的毒性物質(zhì)。因此，為保證SF6產(chǎn)品的純度和質(zhì)量，對出廠的SF6產(chǎn)品國際電工委員會（IEC）及許多國家均制定了質(zhì)量標準，并要求生產(chǎn)廠家在供貨時提供生物試驗無毒證明書。 （2）電器設(shè)備內(nèi)的SF6氣體在高溫電弧發(fā)生作用時而產(chǎn)生的某些有毒產(chǎn)物。 例如：SF6氣體在電弧中的分解和與氧的反應： 2SF6 + O2 →2SOF2 + 8F（氟化亞硫酰） 2SF6 + O2 →2SOF4 + 4F（四氟化硫酰） SF6 →SF4 + 2F（四氟化硫酰） SF6 →S + 6F（硫） 2SOF4 + O2 →2SO2F2 + 4F（氟化硫酰） （3）電器設(shè)備內(nèi)的SF6氣體分解物與其內(nèi)的水分發(fā)生化學反應而生成某些有毒產(chǎn)物。 例如：SF6氣體分解物與水的繼發(fā)性反應： SF4 + H2O →SOF2 + 2HF（氫氟酸） SOF4 + H2O →SO2F2 + 2HF（氫氟酸） SOF2 + H2O → SO2 + 2HF（二氧化硫） SO2F2 + 2H2O → H2SO4 + 2HF（硫酸） （4）電器設(shè)備內(nèi)的SF6氣體及分解物與電極（Cu－W合金）及金屬材料（AL、Cu）反應而生成某些有毒產(chǎn)物。 例如：SF6氣體及分解物與電極或其它材料反應： 3SF6 + W → WF6（氣態(tài)）+ 3SF4 3F + AL →ALF3（固態(tài)粉末） 3SOF2 + AL2O3 →2ALF3（固態(tài)粉末）+ 3SO2 SF6 + Cu →CuF2(固態(tài)粉末) + SF6 4SF6 + W + Cu →2S2F2（氣態(tài)）+3WF6（氣態(tài)）+ CuF2（固態(tài)粉末） （5）電器設(shè)備內(nèi)的SF6氣體及分解物與絕緣材料反應而生成某些有毒產(chǎn)物。如與含有硅成分的環(huán)氧酚醛玻璃絲布板（棒、管）等絕緣件；或以石英砂、玻璃作填料的環(huán)氧樹脂澆注件、模壓件以及瓷瓶、硅橡膠、硅脂等起化學作用，生成SiF4、Si（CH3）2F2等產(chǎn)物。
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